学术报告

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硅光子工艺平台现状

报告人简介:

  贾连希,中国科学院上海微系统与信息技术研究所正高级高级工程师,上海微技术工业研究院硅光子研发总监。在中国科学院半导体研究所取得博士学位,曾在国际知名硅光子研发机构新加坡微电子研究院业从事硅光子工艺与器件研发,具有丰富的硅光子工艺加工及器件开发经验。于2019年08月加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所。连希长期从事硅光子领域研究工作,在电光调制器、光电探测器以及硅光子无源器件等方向取得多项创新性成果。发表论文60余篇,SCI收录40余篇,申请发明专利12余件,入选中科院BR计划。


摘要:

  硅基光电子集成器件在光通信、生物传感、激光雷达等方面应用前景广阔,国内在硅光子领域的器件设计方面已经走在世界前列,但在工艺加工领域相对落后。近几年随着硅基光电子集成器件在通信领域应用的逐渐成熟,工艺平台的限制越来越明显。本报告介绍了目前国际与国内在硅基光电子集成器件工艺平台方面的现状,并重点介绍中科院上海微系统所依托上海微技术工业研究院8寸线所建立的硅基光电子集成器件研发工艺平台的进展情况。


主   持  人:宋俊峰 教授

报告时间:2020年01月03日 09:00

报告地点:唐敖庆楼D311报告厅

主办单位:电子科学与工程学院

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