序号

设备名称

型号

放置地点

负责人

1.

镀膜机3台

DMB-300

超净间

毕建国

2.

送排风机机组

超净间

毕建国

3.

氮气制造机组

超净间

毕建国

4.

水电

超净间、D208

毕建国、刘自强

5.

扫描探针显微镜

DimensionICON-PT

理化楼D214

李德辉

6.

组合式多功能X射线衍射仪

TTRIII

理化楼D218

李德辉

7.

组合式多功能X射线衍射仪

UltimaIV

理化楼D218

李德辉

8.

感应耦合等离子高密度刻蚀机

CE-3001

超净间

李德辉

9.

光刻机

ABM/6/350/NUV/DCCD/BSV/M

超净间

李德辉

10.

扫描探针显微镜和光电子能谱系统

UHV750VT

理化楼D101

李万程

11.

高密度等离子体刻蚀机

ICP-500

超净间

刘彩霞

12.

LPCVD

研制

超净间

刘彩霞

13.

磁控溅射台

研制

超净间

刘自强

14.

RIE反应离子刻蚀机

研制

超净间

刘自强

15.

磁控溅射仪

研制

超净间

刘自强

16.

去离子水水站

普析通用 密理博Q型

理化楼D231

潘振坤

17.

压焊机

WESTBOND7476D

理化楼D208

王艳辉

18.

光纤无源测试系统

XFO

理化楼D208

王艳辉

19.

电化学C-V

PN4400

理化楼D208

王艳辉

20.

保偏熔接机

爱立信F-50

理化楼D208

王艳辉

21.

矢量网络分析仪

37269C

理化楼D208

王艳辉

22.

光谱分析仪

AQ6315A

理化楼D208

王艳辉

23.

紫外可见近红外光度计

UV-3600

理化楼D208

王艳辉

24.

扫描探针显微镜

CSPM5000

理化楼D208

王艳辉

25.

台阶分析仪

XP-2

理化楼D208

王艳辉

26.

椭偏仪

M-2000VI

理化楼D208

王艳辉

27.

显微镜

BX51M

理化楼D208

王艳辉

28.

紫外、荧光测试

1700/5301

理化楼D208

王艳辉

29.

半导体特性分析仪

4200

理化楼D208

王艳辉

30.

光致发光（PL谱）

理化楼D208

王艳辉

31.

冷场发射扫描电子显微镜

JSM-7500F

理化楼D127

郑伟

32.

透射电镜

日本电子H600

理化楼D131

郑伟